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FOUP Handling Robot

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(주)로봇앤드디자인의 FOUP Handling Robot은 AGV (Automated Guided Vehicle)에 장착되어 12”의 FOUP을 핸들링합니다. 최대 페이로드는 25kg이고, Scara arm이 있어 동작 범위가 넓습니다.

FOUP Transfer Unit

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(주)로봇앤드디자인의 FOUP Transfer Unit은 300mm의 Wafer 25장이 들어있는 FOUP을 stocker까지 이송시키는 로봇입니다. 정확하고 매끄러운 매커니즘으로 Vertical transverse axis를 이용해 FOUP을 낮은 위치에서나 높은 위치에서나 이송을 가능하게 합니다. 적재용량은 10kg입니다.

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