(주)로봇앤드디자인의 Cassette Loader는 8” 또는 12” ring frame wafer용 cassette에 맞춰 설계되었고, cassette loading 및 docking이 가능합니다. 수동/자동 lift-up cover를 가지고 있으며 ring frame alignment, cassette presence sensor를 포함하고 있습니다.

Options: RFIP, Multi-cassette handling, etc.