Safe and Reliable System

EFEM (Equipment Front End Module)

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RE-2P

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RE-3P

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RE-4P

(주)로봇앤드디자인의 EFEM은 공정 설비에서의 Wafer Loading을 담당하는 모듈입니다. EFEM에 포함되는 3가지 unit은 Loading Unit (Loadport - FOUP Opener), Handler (Wafer Transfer Robot), 그리고 Pre-aligner로 이 3가지 unit이 설치되어, 공정 부까지 Wafer를 이송합니다. Clean robot이 pre- aligner에 설치 되면 설치 면적이 작아져 공간을 효율적으로 사용할 수 있습니다. 그리고, 회전 축에 End-Effector가 있는 Clean robot은 가로 축없이 작동하여 많은 양을 처리할 수 있고, Clean robot의 air-flow simulation 으로 높은 수준의 청결을 보장합니다.

Configuration:

  • Loadport (Mapping)

  • Single/Dual Arm Robot

  • Encloser structure 

    • Fan Filter Unit

    • Area ​​

  • Linear Track for Robot Travel

  • System Software

  • System Electrics

  • Option:

    • Wafer aligner 

    • Ionization System 

    • PIO Sensor 

    • RFIP Reader/Writer

    • Edge Grip Blades Teaching Pendent

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