FOUP Opener

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8" CASSETTE ADAPTOR

12" FOUP (STANDARD)

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18" FOUP

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12" FOUP WITH N2 PURGE

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FOR FOUP CLEANING TOOL

(주)로봇앤드디자인의 FOUP Opener는 RS-232 통신 인터페이스를 사용하고, FOUP presence, placement, protrusion sensors와 mapping 기능이 포함되어있습니다. 12” SEMI compliant FOUP, 18” FOUP, 12” ring frame wafer용 MAC FOUP은 개별적으로 설계되었고, 신속한 swap-outs service를 위한 모듈 설계가 되어있습니다.

*Option: adaptor for 8” cassette, RFID, etc.

12” FOUP Opener (ONLY)

(주)로봇앤드디자인의 12” FOUP Opener은 CE, S2, SEMI를 준수하였고, SEMI를 기반으로 모든 12” FOUP과 호환이 가능하고, 8” casette는 adaptor (옵션) 와 호환이 가능합니다. 또한, FOUP pinch point protection기능이 포함되어 있습니다.

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