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SMIF (Standard Mechanical Interface)

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(주)로봇앤드디자인의 SMIF는 인체공학적으로 설계된 I/O로 다양한 150~200mm wafer 가공 및 측정 계측 장비와 쉽게 통합되어, Pod cassette loading 및 unloading을 가능하게 합니다. Vacuum load-lock 장비 또는 장비 제조업체 판매용으로 적합하도록 설계되었습니다. SMIF-LP는 다양한 Wafer fab 장비에 SMIF 기능을 제공하며, 사이클 타임과 설치 면적을 감소의 효과를 누리실 수 있습니다.

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