Telescopic WTR

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18” Wafer Transfer Robot

(주)로봇앤드디자인의 Telescopic WTR은 2-3단으로 이루어져 최대 1,200mm 높이까지 도달 할 수 있으므로 높은 위치의 작업을 보다 효과적으로 수행할 수 있습니다. 클래스 1 청정실 용도로 Single/Dual arm 또는 Multi Blade를 사용하여 8”~12”의 Wafer를 빠르고 정확하게 이송할수 있습니다. End-Effector로는 Vacuum Blade, Edge Gripper의 사용이 가능하며, 사용자 요청에 따라 주문 제작이 가능합니다 (18” handling WTR 등 제작 가능).

*Optional: Linear Track, Mapping Sensor

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