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Vacuum Robot

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Single Arm

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Dual Arm

(주)로봇앤드디자인의 Vacuum Robot은 진공 상태 (1E-6Pa)에 최적화된 로봇입니다. 모든 축에는 servo motor가 장착되어있으며 진공 상태에 맞게 Magnetic Fluid Seal을 사용하였습니다. 또한, 회전 직경을 최소화하고 extension을 최대화하였습니다. 

Load Lock Chamber

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(주)로봇앤드디자인의 Load Lock Chamber는 4개의 view point가 있는 2 또는 1 shelf pass-through chamber (loading/unloading)입니다.  Wafer를 이송하기 위해 vacuum chamber 또는 Atmospheric 장비 (EFEM)에서 Wafer 입출시 진공을 제어합니다. 또한, 자동 입구 개방 기능과 wafer slide out detector sensor 등이 포함되어있습니다. 

TM Chamber

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(주)로봇앤드디자인의 TM Chamber는 1개의 Load Lock이 연결되어있는 6개의 Process Module (PMs)용 7면인 TM Chamber로 Vacuum Robot과 통합되어있습니다. 6개의 view point가 있고, Wafer detection sensor, Wafer slide out detection sensor, Wafer presence sensor가 설치되어있습니다.

Load Lock Chamber

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(주)로봇앤드디자인의 Cluster Tool은 300mm Wafer용 5개의 PMs 최대 7면인 TM Chamber가 있는 Cluster tool 입니다. Vacuum pumping system으로, L/L Chamber의 슬롯이 2개가 있고, dual arm vacuum robot, Load Lock의 옵션인 2 wafer pass-through가 포함되어 있으며, 2 wafer은 cooling과 pre-heat이 가능합니다. (26-wafer batch or 13-wafer batch with cooling)

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